Ученые ФИЦ ИПФ РАН разработали технологию создания высокоточных зеркал из монокристаллического кремния, способных выдерживать мощные рентгеновские пучки без ухудшения качества отражения. Эти зеркала, созданные в рамках грантов РНФ и ФНТП, позволяют фокусировать пучки до сотен нанометров и востребованы на синхротронах 4-го поколения, таких как новосибирский СКИФ и строящийся СИЛА в Подмосковье. Кремний, в отличие от других материалов, сохраняет форму при высоких тепловых нагрузках, что делает его идеальным для таких задач. Однако обработка кремния с атомарной точностью, особенно криволинейных поверхностей, ранее была крайне сложной.
Коллектив ИФМ РАН разработал уникальные методы обработки, включая химико-механическую и ионно-пучковую полировку, а также алгоритмы для измерения поверхностей, превышающих размеры интерферометров. В результате созданы сверхгладкие зеркала с шероховатостью на атомарном уровне и точностью формы до 1 нм. Эти зеркала уже используются в приборах для СКИФ. В планах ученых – увеличить размеры зеркал до метра и повысить точность до 0,5 нм, что расширит возможности синхротронных исследований и будет полезно в рентгеновской литографии.
Источник: Нижегородские ученые разработали зеркала из кремния для мощных источников синхротронного излучения